黄光区设备

• 电子束光刻

• 接近接触式光刻

• 投影式光刻

• 涂胶显影

• 激光直写设备

刻蚀工艺设备

• ULVAC 刻蚀设备

薄膜工艺设备

• Picosun原子层沉积设备

• ULVAC PECVD薄膜设备

• ULVAC PVD蒸发设备

• ULVAC PVD溅射设备

清洗/湿法设备

• 单片式兆声清洗机

• Semsysco晶圆电镀设备

• 去胶剥离机

• 清洗机

其他制程设备

• PVA TePla 等离子去胶机

• Logitech CMP化学机械抛光机

• Unitemp RTP、RTA

• YES烘箱

后道设备

• MPI旺矽系列产品

• 先进封装设备

• west bond键合设备

检测设备

• Bruker系列

• Hitachi系列扫描电镜

• 德国cyber膜厚测试系统