0769-2223 1935
Hitachi SEM Regulus系列日立超高分辨场发射扫描电子显微镜
现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。
通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的最佳性能。
产品描述
产品特点
沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空样品仓
运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*
产品规格
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项目 |
Regulus 8100 |
Regulus 8220 |
Regulus 8230 |
Regulus 8240 |
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二次电子分辨率 |
0.7 nm |
0.6 nm（加速电压 15 kV） |
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0.8 nm |
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着陆电压 |
0.1～2 kV |
0.01～20 kV |
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放大倍率 |
20～1,000,000倍*4 |
20～2,000,000倍*4 |
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样 品 台 |
样品台控制 |
3轴马达台（可选5轴马达台） |
5轴马达驱动 |
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移 动 范 围 |
X |
0～50 mm |
0～50 mm |
0～110 mm |
0～110 mm |
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Y |
0～50 mm |
0～50 mm |
0～110 mm |
0～80 mm |
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R |
360° |
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|
T |
-5～70° |
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Z |
1.5～30 mm |
1.5～40 mm |
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再现性 |
- |
- |
- |
±0.5 µm以下含 |
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|
±0.5 µm |
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